एकीकृत सर्किट निर्माण के लिए ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड
जिनचेंग ग्रेफाइट, ग्रेफाइट उत्पादों के एक पेशेवर निर्माता के रूप में, एकीकृत सर्किट निर्माण के लिए उच्च चालकता और उच्च तापीय स्थिरता वाले ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड प्रदान करता है। ये इलेक्ट्रोड विशेष रूप से लिथोग्राफी, नक़्क़ाशी और जमाव जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जिनमें उच्च परिशुद्धता प्रसंस्करण क्षमताएं, लंबी सेवा जीवन और कम थर्मल तनाव शामिल हैं। इनका व्यापक रूप से उच्च-स्तरीय अर्धचालक विनिर्माण उद्योग में उपयोग किया जाता है।
मूल लाभ
उच्च चालकता और तापीय स्थिरता
उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट्स का उपयोग और नैनोस्केल सतह उपचार तकनीक के संयोजन से, चालकता 10^5 एस/एम से अधिक या उसके बराबर तक पहुंच जाती है, और थर्मल विस्तार गुणांक 3.5×10⁻⁶/ डिग्री से कम या उसके बराबर होता है। यह उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान संरचनात्मक स्थिरता सुनिश्चित करता है और वेफर थर्मल विरूपण को रोकता है।
परिशुद्धता प्रसंस्करण अनुकूलता
लेजर कटिंग, प्लाज़्मा नक़्क़ाशी आदि के माध्यम से, यह 0.05 से 3 मिमी तक की इलेक्ट्रोड मोटाई और कस्टम जटिल ज्यामिति का समर्थन करता है, जो 5nm और उससे नीचे की उन्नत प्रक्रियाओं के लिए वेफर प्रसंस्करण उपकरण के लिए उपयुक्त है, जो उच्च परिशुद्धता संरेखण की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
संक्षारण प्रतिरोध और पहनने का प्रतिरोध
सतह रासायनिक निष्क्रियता उपचार से गुजरती है। यह एचएफ, एचएनओ₃ आदि के साथ मजबूत एसिड संक्षारण परीक्षणों से गुजरता है, और 1500 डिग्री या उससे ऊपर के तापमान का सामना कर सकता है, जिससे इलेक्ट्रोड का जीवनकाल काफी बढ़ जाता है और प्रक्रिया में रुकावट का खतरा कम हो जाता है।
अनुप्रयोग परिदृश्य
एकीकृत सर्किट निर्माण में उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड व्यापक रूप से प्लाज्मा नक़्क़ाशी (गहरे उप-माइक्रोन ट्रेंच प्रसंस्करण के लिए), रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी), और भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं में नियोजित होते हैं। उनकी कम थर्मल तनाव संपत्ति वेफर्स के असमान थर्मल विस्तार के कारण होने वाले दोषों को प्रभावी ढंग से रोक सकती है, उच्च अंत चिप्स की उपज को 99.8% से अधिक तक बढ़ा सकती है, और चिप निर्माण प्रक्रियाओं के लघुकरण और उच्च घनत्व एकीकरण को प्राप्त करने में मदद कर सकती है।
तकनीकी निर्देश
| इलेक्ट्रिकल कंडक्टीविटी | 10^5 S/m से अधिक या उसके बराबर (कमरे के तापमान पर) |
| थर्मल विस्तार गुणांक | 3.5×10⁻⁶/डिग्री से कम या बराबर |
| सतह का खुरदरापन | रा 0.2 μm से कम या उसके बराबर |
| संक्षारण प्रतिरोध | मजबूत एसिड, मजबूत क्षार और प्लाज्मा वातावरण में परीक्षण पास किए |
| यांत्रिक शक्ति | संपीड़न शक्ति 120 एमपीए से अधिक या उसके बराबर |
जिनचेंग ग्रेफाइट गुणवत्ता आश्वासन
जिनचेंग ग्रेफाइट 18 वर्षों से ग्रेफाइट उत्पादों के क्षेत्र में गहराई से शामिल है। इसके पास कम तापमान वाली सिंटरिंग तकनीक और ISO9001 गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली प्रमाणन के लिए अपने स्वयं के स्वतंत्र बौद्धिक संपदा अधिकार हैं। यह कच्चे माल के शुद्धिकरण (99.99% से अधिक या उसके बराबर शुद्धता), मोल्डिंग और दबाव से लेकर उच्च तापमान वाले सिंटरिंग तक की पूरी प्रक्रिया को सख्ती से नियंत्रित करता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि उत्पाद स्वच्छता (आईएसओ 4 ग्रेड), थर्मल स्थिरता (±0.5 डिग्री), और सतह समतलता (0.1 माइक्रोन से कम या उसके बराबर) के लिए अर्धचालक उद्योग की सख्त आवश्यकताओं को पूरा करते हैं।
सहयोग प्रतिबद्धता
जिनचेंग ग्रेफाइट नि:शुल्क नमूना परीक्षण, 72{1}घंटे की तकनीकी प्रतिक्रिया और छोटे पैमाने पर परीक्षण उत्पादन के लिए समर्थन प्रदान करता है। यह ग्राहक प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार इलेक्ट्रोड आयाम, प्रवाहकीय प्रदर्शन पैरामीटर और सतह उपचार योजनाओं को अनुकूलित कर सकता है। यह वैश्विक सेमीकंडक्टर उद्यमों के लिए उच्च-प्रदर्शन और विश्वसनीय ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। पेशेवर प्रौद्योगिकी, तीव्र वितरण और निरंतर नवाचार के साथ, यह एकीकृत सर्किट विनिर्माण में थर्मल प्रबंधन और सटीक प्रसंस्करण के क्षेत्र में एक मुख्य भागीदार बन गया है।
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