ग्रेफाइट वीसी यूनिफ़ॉर्म तापमान प्लेट

उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट (कार्बन सामग्री 99.99% से अधिक या उसके बराबर) और धातु मैट्रिक्स मिश्रित प्रक्रिया का उपयोग करके, तापीय चालकता 300 W/m·K तक पहुंच जाती है, जिससे वेफर स्तर पर एक समान गर्मी लंपटता प्राप्त होती है और स्थानीय हॉटस्पॉट का खतरा कम हो जाता है।

एक निर्वात कक्ष के साथ ग्रेफाइट की कई परतों को मिलाकर, थर्मल प्रतिरोध को 0.05 K/W तक कम कर दिया जाता है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि उच्च - पावर चिप्स अत्यधिक भार के तहत एक स्थिर कार्य तापमान बनाए रखते हैं।

200 डिग्री से 3000 डिग्री के तापमान रेंज के प्रति सहनशील, अर्धचालक उपकरणों में उच्च तापमान प्रतिक्रिया वातावरण के लिए उपयुक्त, जबकि उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और हाइड्रोजन और नाइट्रोजन जैसी प्रक्रिया गैसों के साथ अनुकूलता।

सीवीडी और पीवीडी जैसी उच्च तापमान प्रक्रियाओं में, ग्रेफाइट वीसी समान तापमान प्लेट समान रूप से गर्मी वितरित कर सकती है, सामग्री विरूपण को रोक सकती है और प्रक्रिया स्थिरता को बढ़ा सकती है।

उच्च {{0}ऊर्जा लेजर गुहाओं के लिए अनुकूलित, यह निरंतर उच्च{1}शक्ति संचालन के दौरान उपकरण की सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए एकसमान तापमान प्लेट के माध्यम से तेजी से गर्मी का निर्वहन करता है।

वेफर सुखाने और एनीलिंग जैसे चरणों में, समान तापमान प्लेट समान गर्मी वितरण प्रदान करती है, जिससे थर्मल तनाव के कारण होने वाली सामग्री क्षति का जोखिम कम हो जाता है।