सेमीकंडक्टर ग्रेड ग्रेफाइट

कार्बन सामग्री 99.99% से अधिक या उसके बराबर। प्लाज्मा उपचार के माध्यम से, अशुद्धियों को हटा दिया जाता है, जिससे सेमीकंडक्टर निर्माण में उच्च सफाई की सख्त आवश्यकताओं को पूरा किया जाता है और वेफर सतह संदूषण को रोका जाता है।

तापीय चालकता 200{2}}300 W/m·K तक। ऊष्मा ऊर्जा को त्वरित और समान रूप से स्थानांतरित करता है, उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर का समान ताप वितरण सुनिश्चित करता है और उपज हानि को कम करता है।

1500 डिग्री उच्च तापमान और मजबूत एसिड और क्षार संक्षारण के प्रति सहनशील। अर्धचालक वेफर एनीलिंग, जमाव और नक़्क़ाशी जैसी जटिल प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त, उपकरण की सेवा जीवन का विस्तार।

हीटिंग चैंबर की सामग्री के रूप में, यह अत्यधिक तापमान में उतार-चढ़ाव का सामना कर सकता है, जिससे एनीलिंग और सिंटरिंग जैसी प्रक्रियाओं के दौरान वेफर की थर्मल स्थिरता सुनिश्चित होती है।

ग्रेफाइट की कम घर्षण विशेषता को मिलाकर, यह उच्च तापमान हीटिंग के लिए उच्च तापमान वाले वैक्यूम वातावरण के लिए उपयुक्त है, जो गैस सोखने के कारण होने वाले प्रदूषण को कम करता है।

उच्च तापीय चालकता के माध्यम से तीव्र और समान ताप प्राप्त करना, पैकेजिंग प्रक्रियाओं की दक्षता में सुधार करना और ऊर्जा खपत लागत को कम करना।