अर्धचालकों के लिए ग्रेफाइट ताप तत्व

99.99% से अधिक या उसके बराबर कार्बन सामग्री के साथ नैनो-स्केल ग्रेफाइट सब्सट्रेट का उपयोग करते हुए, यह 1500 डिग्री से ऊपर के तापमान का सामना कर सकता है। यह उच्च तापमान प्रक्रियाओं जैसे सेमीकंडक्टर वेफर एनीलिंग और सिंटरिंग के लिए उपयुक्त है, जो सामग्री ऑक्सीकरण या संरचनात्मक विरूपण को रोकता है।

एक विशेष सिंटरिंग प्रक्रिया के माध्यम से, तापीय चालकता को 200-300 W/m·K तक बढ़ाया जाता है, जिसका तापीय प्रतिरोध 0.1 K/W से कम होता है। यह वेफर सतह पर एक समान तापमान सुनिश्चित करता है, जिससे स्थानीय ओवरहीटिंग के कारण उपज में गिरावट कम हो जाती है।

उच्च तापमान सिंटरिंग के बाद, संपीड़न शक्ति 40 एमपीए से अधिक या उसके बराबर होती है, एसिड और क्षार संक्षारण के लिए प्रतिरोधी होती है, और अर्धचालक विनिर्माण में उच्च स्वच्छता वातावरण के लिए उपयुक्त होती है, जो उपकरण की सेवा जीवन को बढ़ाती है।

हीटिंग चैंबर की सामग्री के रूप में, यह अत्यधिक तापमान में उतार-चढ़ाव का सामना कर सकता है, जिससे एनीलिंग और जमाव जैसी प्रक्रियाओं के दौरान वेफर की थर्मल स्थिरता सुनिश्चित होती है।

ग्रेफाइट हीटिंग तत्वों की कम घर्षण विशेषताओं को मिलाकर, यह उच्च तापमान वाले हीटिंग के लिए उच्च तापमान वाले वैक्यूम वातावरण के लिए उपयुक्त है, जो गैस सोखने के कारण होने वाले प्रदूषण को कम करता है।

उच्च तापीय चालकता के माध्यम से तीव्र और समान ताप प्राप्त करने से, यह पैकेजिंग प्रक्रियाओं की दक्षता में सुधार करता है और ऊर्जा खपत लागत को कम करता है।